檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Lithography".ekeyword (精準) and cdept.raw="電子工程系"
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熱壓式奈米壓印微影技術僅需先使用電子束微影技術製作出所需要的模具,即可以快速且重複使用製作出奈米等級的結構,如此一來,可以省去傳統技術用來製作光柵所花費的較長時間與昂貴的設備成本。 本論文以熱壓式奈…
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本論文著重於全像光子晶體結構之分析、實現、光學特性與應用。在結構分析方面,使用全像術實現橢圓形光子晶體可以簡化製程步驟且相對於圓形光子晶體而言有著較寬的製程容忍度,進而提升製程良率並降低製作成本。此…